檢索結果:共6筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="氧化鋅"
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隨著科技的發展,大眾對於電子產品的需求越來越多樣化,其中具備可撓特性之電子產品是近年來的發展趨勢,為了使傳統的電子元件擁有可撓的功能,大多利用可撓性基板取代傳統硬基板,而因為白雲母(Muscovit…
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本研究在玻璃基板上建立半透明微奈米陣列結構,改善玻璃的光學特性,並於奈米結構上方濺鍍金屬鋅,再經過氧化處理成為氧化鋅薄膜,探討光波經過光學薄膜層所產生吸收或穿透的光學改變量。製程主要是利用磁控射頻濺…
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生,而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度,且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化,進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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本研究在玻璃基板上進行表面改質,用以增強光學與光催化性能,特別針對紫外光 之吸收率改善。在玻璃基板的表面改質過程中,依序研究濺鍍之鋁與鋅金屬,以確認不 同製程對於薄膜之影響。利用射頻濺鍍機在透光玻璃…
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焦電薄膜感測器是以溫度變化產生焦電訊號。本文分別使用三種射頻源功率90W、120W及150W進行單階段濺鍍氧化鋅焦電薄膜,及此三種射頻源功率構成六種組合以雙階段的濺鍍技術沈積氧化鋅焦電薄膜。氧化鋅焦…